依据GB50073－2013《洁净厂房设计规范》 以及ISO14644 的检测方法，洁净室检测项目各项合格标准如下：
1) 风速或风量的检测 
（a） 单向流洁净室：距离高效过滤器 0.3m，间距不大于 0.6 m，不少于5 点，测风速，求平均，算风量。 
（b） 非单向流洁净室：测风量，算换气次数。参照 GB 50243-2016《通风与空调给出施工及验收规范》 
2) 静压差的检测 
（a） 门应全部关闭 
（b） 压差计灵敏度应小于 1 Pa。
3)安装后过滤器泄漏检测 
（a）光散射气浮微粒测定仪的流量应大于 1 L/min； 
（b）颗粒度不小于 0.1 μm（0.5 μm）；颗粒浓度大于 3.5×107 pc/m3；距离过滤器表面 2～3 cm；扫描速度 5～20 mm/s。 
（c）对于高效过滤器不大于出厂合格穿透率的 2 倍，对于超高效过滤器
不大于出厂合格穿透率的 3 倍。 
4) 不同等级洁净室的连通孔洞的风速应大于 0.2 m/s。 

5) 洁净度的检测 
（a） 光散射气浮微粒测定仪的流量应大于 1 L/min，并具备有效的标定合格证； 
（b） 采样点离地 0.8m； 
（c） 每个采样点的每次采样量按 ISO 14644 的要求； 
（d） 仅有一个采样点时，至少采样 3 次。 
（2）GB50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范 
本标准的附录 D 《洁净室（区）性能测试和认证》的要点： 
1）风速和风量的检测 
对于单向洁净室，应离高效过滤器 300 mm。
2）静压差的检测 
检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于 1.0 Pa。应由里向外按顺序检测。 
3） 空气过滤器安装后的检漏 
微粒仪的流量应大于 1 L/min。应在过滤器的上风侧引入不小于 0.1 μm（或0.5μm）的微粒，其浓度应大于 3.5×107 pc/m3。微粒仪距离滤器表面 20～30 mm 处等速采样，并以 5～20 mm/s 速度扫描。 
4） 洁净度的检测 
最少采样点和每次最少采样量与 ISO 14644 基本相同。5）温度和湿度的检测 
检测点的覆盖面积不大于 100 m2 。每个房间不少于 2 个检测点。检测点应取工作高度，距吊顶、墙和地面不少于 300 mm。 
6）噪声的检测 
每 100 m2 设一个检测点。检测点距地面 1.1～1.5 m,距墙大于 3m。

7）照度的检测 

检测点为工作高度，宜距地面 0.85 m, 每 25 m2 设一个检测点。