洁净室的检测首先应明确洁净室或洁净区域的占用状态,按照《洁净厂房设计规范》规定,洁净室检测状态分为空态、静态和动态三种。
1.空态(as-built):设施已经建成,所有动力接通并运行,但无生产设备、材料及人员。
2.静态(at-rest):设施已经建成,生产设备已经安装,并按业主及供应商同意的状态运行,但无生产人员。
3.动态(operational):设施以规定的状态运行,有规定的人员在场,并在商定的状况下进行工作。
在洁净室检测当中,不同的验收阶段对应着不同的检测状态。竣工验收的安装确认( IQ)在空态下进行,竣工验收的运行确认(OQ)在空态或静态下进行, 而使用验收需要在动态下进行。
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